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净化车间使用的六大关键因素指标(二)

点击次数:  更新时间:21/01/29 17:36:01 来源:www.lychengxu.cn关闭
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四、气体CPU
新风系统解决空调机组[Make-upAHUs]。典型性的家用新风系统解决了制冷机组(中、低等制冷机组)为呼吸系统制冷机组(二级制冷机组)出示必需的家用新风系统的难题。新风系统由抽滤排烟风机、轴流式或plug离心风机再加过滤装置、加热和再热用开水风机盘管、制冷和去湿应用的冷藏水风机盘管、蒸气和隔热空气加湿器等构成。配件和差别包含静电感应气体切换阀、蒸气加热风机盘管、超音波空气加湿器、食盐水、去湿用的立即互换[Dx]或乙二醇超低温冷藏风机盘管、VOC吸咐过滤装置、噪音衰减器,VFP(直流变频)驱动器等。
多种循环系统风空调机组根据排风管,再历经ULPA过滤装置或HEPA过滤装置,将气体送进洁净室,在洁净室等级为10级和1级的清洁间的装修吊顶上,这种过滤装置一般 是100%遮盖。竖直单边气旋往下根据清洁间,越过带孔的防静电地板砖进到木地板下边的送风室内空间,再根据竖直送风夹道往上进到装修吊顶送风静压箱。随后,气体再度进到循环系统风空调机组,之上的气体循环系统再度反复。如果是应用装修吊顶离心风机过滤装置,在离心风机过滤装置上边的装修吊顶室内空间时,能够 安裝水或立即互换制冷[DX-cooled]风盘完成表层制冷。
五、气体压力差
洁净室增加是务必的,它的功效是保证洁净室杜绝其邻近地区的环境污染,操纵危害空气污染物的流入,避免 不一样区域间的交叉式环境污染,并协助维持所规定的溫度和环境湿度水准。很多微电子技术和光刻技术洁净室取得成功地选用处于被动标准气压操纵,仅有在大门口所有开启的状况下,入口的排风量保持在每分50到100英尺。一些生物医药公司规定积极压力差操纵,选用填补新风系统的方法,全自动补充根据门泄露的气体(当门开启时)。
六、温控
溫度和环境湿度的转变可以造成生产线设备的偏差,进而危害加工过程的精确性,最后造成 良品率减少、提升消耗。因而,洁净室对溫度严控规定是不言而喻的,此项花费是务必的。
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